技術(shù)文章
超聲波測(cè)厚儀在壓力容器厚度檢測(cè)的應(yīng)用(二)

三、什么是超聲波
超聲
ultrasonic(ultrasound)
聲音是與人類生活緊密相聯(lián)的一種自然現(xiàn)象。當(dāng)聲的頻率高到超過(guò)人耳聽(tīng)覺(jué)的頻率極限(根據(jù)大量調(diào)查,取整數(shù)20000赫)時(shí),
人們就覺(jué)察不出聲的存在,因而稱這種高頻率的聲為“超”聲。
超聲波的特點(diǎn)
束射特性
由于超聲波的波長(zhǎng)短,超聲波射線可以和光線一樣,能夠反射、折射,也能聚焦,而且.遵守幾何光學(xué)上的定律。即超聲波射線從一種物質(zhì)表面反射時(shí),入射角等于反射角,當(dāng)射線透過(guò)一種物質(zhì)進(jìn)入另一種密度不同的物質(zhì)時(shí)就會(huì)產(chǎn)生折射,也就是要
改變它的傳插方向,兩種物質(zhì)的密度差別愈大,則折射也愈大。
吸收特性
聲波在各種物質(zhì)中傳播時(shí),隨著傳播距離的增加,強(qiáng)度會(huì)漸進(jìn)減弱,這是因?yàn)槲镔|(zhì)要吸收掉它的能量。
對(duì)于同一物質(zhì),聲波的頻率越高,吸收越強(qiáng)。
對(duì)于一個(gè)頻率一定的聲波,在氣體中傳播時(shí)吸收*歷害,在液體中傳播時(shí)吸收比較弱,在固體中傳播時(shí)吸收*小。
超聲波的能量傳遞特性
超聲波所以往各個(gè)工業(yè)部門中有廣泛的應(yīng)用,主要之點(diǎn) 還在于比聲波具有強(qiáng)大得多的功率。為什么有強(qiáng)大的功率呢?因?yàn)楫?dāng)聲波到達(dá)某一物資中時(shí),由于聲波的作用使物質(zhì)中的分子也跟著振動(dòng),振動(dòng)的頻率和聲波頻率—樣,分子振動(dòng)的頻率決定了分子振動(dòng)的速度。頻率愈高速度愈大。物資分子由于振動(dòng)所獲得的能量除了與分子的質(zhì)量有關(guān)外,是由分子的振動(dòng)速度的平方?jīng)Q定的,所以如果聲波的頻率愈高,也就是物質(zhì)分子愈能得到更高的能量、超聲波的頻率比聲波可以高很多,所以它可以使物資分子獲得很大的能量;換句話說(shuō),超聲波本身可以供給物質(zhì)足夠大的功率。
超聲波的聲壓特性
當(dāng)聲波通入某物體時(shí),由于聲波振動(dòng)使物質(zhì)分子產(chǎn)生壓縮和稀疏的作用,將使物質(zhì)所受的壓力產(chǎn)生變化。由于聲波振動(dòng)引起附加壓力現(xiàn)象叫聲壓作用。
由于超聲波所具有的能量很大,就有可能使物質(zhì)分子產(chǎn)生顯諸的聲壓作用、例如當(dāng)水中通過(guò)一般強(qiáng)度的超聲波時(shí),產(chǎn)生的附加壓力可以達(dá)到好幾個(gè)大氣壓力。液體中存起著如此巨大的聲壓作用,就 會(huì)引起值得注意的現(xiàn)象。當(dāng)超聲波振動(dòng)使液體分子壓縮時(shí),好象分子受到來(lái)直四面八方的壓力;當(dāng)超聲波振動(dòng)使液體分子稀疏時(shí),好象受到向外散開(kāi)的拉力,對(duì)于液體,它們比較受得住附加壓力的作用,所以在受到壓縮力的時(shí)候;不大會(huì)產(chǎn)生反常情形。但是在拉力的作用下,液體就會(huì)支持不了,在拉力集中的 地方,液體就會(huì)斷裂開(kāi)來(lái),這種斷裂作用特別容易發(fā)生在液體中存在雜質(zhì)或氣泡的地方,因?yàn)檫@些地方液體的強(qiáng)度特別低,也就特別經(jīng)受不起幾倍于大氣壓力的拉力作用。由于發(fā)生斷裂的結(jié)果,液體中會(huì)產(chǎn)生許多氣泡狀的小空腔,這種空泡存在的時(shí)間很短,一瞬時(shí)就會(huì)閉合起來(lái)。空腔閉合的時(shí)候會(huì) 產(chǎn)生很大的瞬時(shí)壓力,一般可以達(dá)到幾千甚至幾萬(wàn)個(gè)大氣壓力。液體在這種強(qiáng)大的瞬時(shí)壓力作用下,溫度會(huì)驟然增高。 斷裂作用所引起的互大瞬時(shí)壓力,可以使浮懸在液體中 的固體表面受到急劇破壞。我們常稱之為空化現(xiàn)象。
超聲波的應(yīng)用具有以下的特點(diǎn):
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超聲波具有較好的指向性——頻率越高,指向性越強(qiáng)。這在諸如探傷和水下聲通訊等應(yīng)用場(chǎng)合是主要的考慮因素。
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頻率高時(shí),相應(yīng)地波長(zhǎng)將變短,因而波長(zhǎng)可與傳播超聲波的試樣材料的尺寸相比擬,甚至波長(zhǎng)可遠(yuǎn)小于試樣材料
的尺寸.這在厚度尺寸很小的測(cè)量應(yīng)用中以及在高分辨率的探傷應(yīng)用中是非常重要的。
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超聲波用起來(lái)很安靜,人們聽(tīng)不到它。這一點(diǎn)在高強(qiáng)度工作場(chǎng)合尤為重要。這些高強(qiáng)度的工作用可聞?lì)l率的聲波
來(lái)完成時(shí)往往更有效,然而遺憾的是,可聞聲波工作時(shí)所產(chǎn)生的噪聲令人難以忍受,有時(shí)甚至是對(duì)人體有害的。
超聲波清洗身手不凡
近10年來(lái),超聲波清洗設(shè)備正在朝兩個(gè)方面發(fā)展。其一是,各種類型的多缸或傳動(dòng)鏈?zhǔn)交蛏凳匠暻逑瓷a(chǎn)線相繼面市;其二是,低頻超聲波清洗機(jī)向高頻超聲波清洗機(jī)的發(fā)展。在美國(guó)、日本、歐洲以及亞太市場(chǎng)上,多缸式超聲波清洗設(shè)備總量已呈明顯上升之勢(shì),高達(dá)總量的50%,而多工位半自動(dòng)、全自動(dòng)傳動(dòng)鏈?zhǔn)交蛏凳?/span>超聲波清洗線體設(shè)備也已上升到總量的40%以上。
我國(guó)超聲波清洗技術(shù)的應(yīng)用已經(jīng)取得了較好的成效。一是機(jī)械零部件在電鍍前后的清洗或噴涂前的清洗,拆修零部件的清洗,要求高清洗度,如油泵油嘴偶件、軸承、制動(dòng)器、燃油過(guò)濾器、閥門的清洗。二是印制電路板、硅片、晶片、元器件殼、座、鐵路系統(tǒng)用的信號(hào)控制繼電器、元器件、連接件、顯像管以及電真空器件等的清洗。三是眼鏡、顯微鏡、望遠(yuǎn)鏡、瞄準(zhǔn)具等光學(xué)系統(tǒng)及取樣玻璃片的清洗。四是醫(yī)用器具、食品、制藥、生化等試驗(yàn)中所用各種瓶罐的清洗。五是噴絲頭、精密模具、精密橡膠件、珠寶工藝品等的清洗。
我國(guó)現(xiàn)有各類超聲波清洗設(shè)備制造企業(yè)近40家,但其分布主要集中在東南沿海地區(qū)。據(jù)統(tǒng)計(jì)資料,沿海地區(qū)的廠家占國(guó)內(nèi)總數(shù)的85%,可見(jiàn)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)地區(qū)對(duì)超聲波清洗技術(shù)的應(yīng)用不但在先,而且廣泛,普及程度高,同時(shí),這又證明超聲波清洗技術(shù)在中西部地區(qū)推廣普及的前景十分廣闊。就產(chǎn)品水平而言,當(dāng)代產(chǎn)品與20世紀(jì)70—80年代的產(chǎn)品相比,技術(shù)進(jìn)步也十分明顯。
近年來(lái),由于對(duì)汽車制動(dòng)器生產(chǎn)線、冰箱壓縮機(jī)生產(chǎn)線的傳統(tǒng)清洗工藝實(shí)行技術(shù)改造,擬采用超聲波清洗工藝。在國(guó)外汽車底盤架、轎車外殼噴涂前的超聲波清洗,配合專用清洗液,將除銹、去氧化膜及磷化一次清洗處理完成,烘干后即可噴漆等都有了新的應(yīng)用和發(fā)展。
美國(guó)Advanced Sonic Proctssing Svstems公司,推出一系列大量清洗煤或貴金屬礦物的設(shè)備,例如清洗金屬顆粒礦物質(zhì)表面的泥土、膠體類物質(zhì),使化學(xué)劑發(fā)揮更好的作用;洗煤粉除灰去硫等,處理率為每小時(shí)十幾噸。
美國(guó)Dvpont公司在新澤西州制藥廠的應(yīng)用報(bào)告稱:超聲波清洗能除去反應(yīng)罐或化學(xué)處理桶殼表面的污物,比用普通方法節(jié)約能源,費(fèi)用低且減少環(huán)境污染,清洗過(guò)程簡(jiǎn)單,只要在溶器中灌滿水,加熱到65℃,并加入2%的表面活性劑,進(jìn)行處理2—4h,即可清洗干凈。
歐洲的一些廠家曾清洗過(guò)9.1m3的罐,以前用甲醇加熱到沸點(diǎn)一次處理4—8h,總共要進(jìn)行5次清洗才能達(dá)到要求,而且超聲波清洗只需要一次處理即能達(dá)到要求,既節(jié)省溶劑,提高效率,又減少環(huán)境污染。
隨著超聲波清洗設(shè)備的應(yīng)用范圍越來(lái)越廣泛,各種經(jīng)過(guò)不斷完善和改進(jìn)的新穎超聲波清洗設(shè)備正在取代已面市的老式設(shè)備。
兆赫超聲波清洗技術(shù)是指采用頻率700KHz—2MHz的超聲波進(jìn)行清洗。清洗系統(tǒng)一般由壓電換能器陳列、清洗容器和清洗液、高頻電功率發(fā)生器及控制電路等組成,對(duì)于某些特定的清洗對(duì)象,有時(shí)還配有熱空氣烘干、專用清洗架(籃)及清洗液的過(guò)濾循環(huán)系統(tǒng)。
兆赫超聲波清洗技術(shù)的主要特點(diǎn),一是避免了高光潔度物體的表面損傷;二是可除去附著在表面的亞微米大小的顆粒;三是浸入液體中,面向換能器的一面能被洗凈,所以要進(jìn)行兩面清洗。
目前,國(guó)外市場(chǎng)上已有商用的兆赫超聲波清洗設(shè)備。美國(guó)Verteq、Imtec、ProSys公司已開(kāi)發(fā)出這類設(shè)備用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線上,在對(duì)100—300mm硅片的清洗中,可除去硅片表面上小到0.15μm的微小顆粒,而且可加快漂洗過(guò)程并有效地阻止粒子在硅片表面上重新附著。兆赫超聲波清洗是國(guó)外許多大規(guī)模集成電路制造廠家生產(chǎn)過(guò)程中不可缺少的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。
超聲波的作用原理
超聲波清洗的原理,在理論要加以闡述是比較復(fù)雜的,里面牽涉許多因素和作用,可以體現(xiàn)超聲波清洗作用的主要有以下三點(diǎn)。
(1)空穴作用
當(dāng)強(qiáng)力的超聲波輻射到液體中,清洗液以靜壓(一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)氣壓)為中心進(jìn)行變化,在壓力到零氣壓以下時(shí),溶解在液體中的氧會(huì)形成微小氣泡核,進(jìn)而產(chǎn)生無(wú)數(shù)近似真空的微小空洞(空穴)。超聲波的正壓力時(shí)的微小空洞,在絕熱壓縮狀態(tài)被擠碎,這個(gè)發(fā)生在擠碎瞬間的強(qiáng)力沖擊波,可直接破壞污染物并使之分散在液中,形成清洗機(jī)理。試驗(yàn)中這種強(qiáng)力的清洗作用,能在數(shù)十秒內(nèi)對(duì)鋁箔侵蝕成無(wú)數(shù)的小孔。
利用空穴作用的清洗,對(duì)去油污的效果比較好,通常在28KHZ~50KHZ的頻率內(nèi)進(jìn)行機(jī)械另部件的清洗,清洗機(jī)的超聲波強(qiáng)度大多設(shè)定在0.5~1w/cm2。
(2)加速度
清洗液體經(jīng)超聲波輻射,液體分子發(fā)生振動(dòng),這種振動(dòng)加速度在28KHZ時(shí)是重力加速度的103倍,在950KHZ時(shí)將達(dá)到105倍,由這個(gè)強(qiáng)力加速度可以對(duì)受污物的表面實(shí)行剝離清洗。然而,950KHZ的超聲波不產(chǎn)生空穴,不適應(yīng)去油污的清洗,只能在電子工業(yè)的半導(dǎo)體制造中,對(duì)亞微米粒子的污染進(jìn)行清洗。
(3)物理化學(xué)反應(yīng)的促進(jìn)作用
由空穴作用使液體局部發(fā)生高溫高壓(1000氣壓,5500℃),再經(jīng)振動(dòng)產(chǎn)生的攪拌,促使化學(xué)或物理作用的相乘,液體不斷地乳化分散,進(jìn)一步促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)的速率。
清洗液深度的確定
液體中的超聲波會(huì)因行波、回波的相互干擾及強(qiáng)合結(jié)果,將形成“駐波”現(xiàn)象,(見(jiàn)圖1)。確定產(chǎn)生駐波的液體深度,能得到*好的超聲波輻射效果。產(chǎn)生駐波的液體深度,可用下面公式計(jì)算。
液深(λ/2)=聲速/頻率÷2
這個(gè)液體深度的正倍數(shù)數(shù)值,也是*適合的深度,例在20℃水溫,28K1c時(shí)液深為27mm、54mm、81mm等等,38KHZ時(shí)液深為21mm、42mm、63mm等,但是,不同的液體、液溫及超聲振蕩器,其駐波發(fā)生情況是不同的。參見(jiàn)表1。
表 1 駐波的產(chǎn)生情況比較
清洗液 聲 速 λ/2
水 20℃ 1483mm 27mm
氟里昂 20℃ 717mm 13mm
IPA 20℃ 1168mm 21mm
酸堿清洗劑 20℃ 1483mm 27mm
超聲波產(chǎn)生方式和清洗條件的設(shè)定
超聲波的產(chǎn)生方式由表2表示,可按不同的清洗目的加以選擇,目前常用的是能進(jìn)行強(qiáng)力清洗的連續(xù)振蕩方式。頻率調(diào)制和多頻率的方式,清洗時(shí)清洗不均現(xiàn)象較多,對(duì)污染嚴(yán)重物體的清洗不太適應(yīng)。
表 2 超聲波的產(chǎn)生方式
方 式 內(nèi) 容 特 征
連續(xù)振蕩 振幅及頻率是固定的 可強(qiáng)力清洗。由駐波作用使清洗不均,應(yīng)增加搖動(dòng),達(dá)到清洗均勻性。
加寬調(diào)制 振幅變化 有良好的脫氣效果,對(duì)不同物體清洗性好,噪聲大。
頻率調(diào)制(FM振蕩) 振蕩頻率實(shí)行數(shù)千赫的變化 能均勻地清洗。清洗效率差,平均輸出功率低。
同時(shí)多頻率 多種頻率同時(shí)發(fā)生 形成均衡的聲場(chǎng),清洗均勻,不易得到強(qiáng)力的超聲波。
多頻率交替 每一種頻率發(fā)生復(fù)數(shù)個(gè)頻率 清洗均衡,不易得到強(qiáng)力清洗。
圓錐形輻射清洗 用不銹鋼制成的共振體進(jìn)行超聲波輻射。一般在清洗不充分場(chǎng)合使用 可獲得常規(guī)超聲波10倍或20倍的強(qiáng)度,性能高。 但清洗面小,噪